由于單獨的水熱法需要較高的溫度和壓力;而單獨的電化學工藝由于電解槽不能很好地密封，某些類型的材料特別是鈣鐵礦型的介電陶瓷薄膜的制備尚有很大的困難，而且其電化學成膜的速率較低。因此，把水熱法和電化學法有機結合起來，形成水熱電化學方法是很有潛力的.目前，該方法已經成功地用于鈣欽礦型(ABO3)鐵電陶瓷薄膜的制備。
   圖給出了水熱電化學反應的裝置原理示意圖.它是在水熱釜里加人直流電場，在水熱條件和電場作用下進行陶瓷薄膜的制備。圖3一13給出了流動系統(tǒng)的水熱電化學裝置示意圖。

   水熱電化學技術的基本原理是:在特制的密閉反應容器(高壓釜)里，采用水溶液作反應介質，通過對反應容器加熱，創(chuàng)造了一個高溫、高壓的反應環(huán)境，使得通常難溶或不溶的物質溶解或溶解度增大。一方面，在水熱條件下水的粘度、介電系數(shù)和膨脹系數(shù)會發(fā)生相應的變化。在稀薄氣體狀態(tài)，水的貓度隨溫度的升高而增大，但被壓縮成稠密狀態(tài)時，其9度卻隨溫度的升高而降低。水熱溶液的a度較常溫常壓下溶液的貓度約低2個數(shù)童級。由于擴散與溶液的鉆度成正比，因此在水熱溶液里存在著十分有效的擴散，從而使得晶核和晶粒較其他水溶液體系有更高的生長速率，界面附近有更窄的擴散區(qū)等，為制備好的薄膜材料創(chuàng)造了條件。